第(2/3)页 沉积速率0.2 nm/s 全都有问题。 这说明.前驱体选错了? 许青舟眉头紧锁,回忆起看过的资料,曾经做的物理实验,有没有遇到相同的难点。 物理上应该是可行不该这样 那就考虑化学方面? 他于是画着Sn(NEt)的结构图,查看哪个环节出错。 传统sn前驱体热稳定性比较差,改用二乙胺基锡(Sn(NEt)),前驱体的分解温度降至350–400°C,应该能显著减少Sn挥发。 可现在的结果恰恰相反。 电话那头,卡森见许青舟半天没说话,不由喊:“教授?” “给我2分钟时间。” 许青舟回神,又从一侧抽出张手稿。 “哦,好。” 客厅响起沙沙地写字声。 半张手稿已经写满复杂的反应式。 片刻,许青舟的笔忽的停下,凝望着勾画出来的反应。 【SnO+ 4H→ Sn + 2HO】 也就是说部分Sn原子会被氧化成 SnO(二氧化锡)。 找到问题了! 许青舟盯着手稿上的式子,眉头舒展开,说道:“你去借一台PlasmaPro 100,加入H等离子体,将SnO实时还原为金属Sn,在薄膜生长时,用氢原子解决氧化物。” “啊?” “你不会?” 许青舟皱眉问,就是加入H等离子体而已,操作不难。 “不不不,挺简单的操作教授,您现场想出来的?” “有问题?” “没问题。” 许青舟微微点头,沉声吩咐:“好,再做四组,先把新前驱体的数据做出来,周五前我需要看到结果,没问题吧?” “没问题。” 第(2/3)页